中科飞测获得发明专利授权：“半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“半导体检测设备的调试件及半导体检测设备的调试方法”，专利申请号为CN202011273220.3，授权日为2024年3月1日。

专利摘要：本申请提供一种调试件及利用调试件调试半导体检测设备的调试方法。调试件包括检测面及设置在检测面上的检测图案。检测图案包括以检测面的中心为中心的同心环、穿过检测面的中心的直径线及标定图形。同心环用于检测调试件是否位于半导体检测设备的承载装置的旋转中心。直径线用于检测检测面的中心是否在半导体检测设备的成像装置拍摄到调试件的视场范围的中心线及其延长线上。直径线与同心环相交形成间隔区域。标定图形位于间隔区域，标定图形用于检测半导体检测设备的成像装置的行频是否与承载装置的旋转速度对应。本申请的调试件及调试方法能够利用检测图案调试半导体检测设备，使半导体检测设备检测待检测件时获取的还原图像不失真。

今年以来中科飞测新获得专利授权21个，较去年同期减少了4.55%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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