证券之星消息,根据企查查数据显示芯源微(688037)新获得一项发明专利授权,专利名为“过滤装置和撕金设备”,专利申请号为CN202211060560.7,授权日为2024年2月27日。
专利摘要:本发明提供了一种过滤装置,包括过滤件和驱动机构;所述过滤件为空心结构,所述过滤件包括侧壁和设置于所述侧壁的滤孔;所述驱动机构连接所述过滤件,以驱动所述过滤件移动,使所述过滤件以一定距离围绕于所述晶圆,能够减少撕金工艺中金属碎屑粘附在腔室侧壁。本发明还提供了一种撕金设备。
今年以来芯源微新获得专利授权5个,较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元,同比增80.33%。
数据来源:企查查
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