芯源微获得实用新型专利授权：“用于涂胶显影设备的片盒模块”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于涂胶显影设备的片盒模块”，专利申请号为CN202321817499.6，授权日为2024年2月27日。

专利摘要：本实用新型提供一种用于涂胶显影设备的片盒模块，包括旋转式片盒装载单元、层间机械手和片盒窗口，N个旋转式片盒装载单元关于对称轴对称分布于所述层间机械手的两侧，N为任意大于1的整数；所述片盒模块的一侧用于与工艺模块对接，所述对称轴位于由所述片盒模块指向所述工艺模块的直线；所述旋转式片盒装载单元用于装载晶圆传送盒；所述层间机械手用于将晶圆送入晶圆传送盒或从所述晶圆传送盒取出；N个片盒窗口一一对应朝向所述N个旋转式片盒装载单元；所述片盒窗口的内径大于所述晶圆传送盒的外径。该片盒模块用于提升涂胶显影工艺的产能。

今年以来芯源微新获得专利授权4个，较去年同期减少了20%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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