微导纳米获得实用新型专利授权：“一种批量装载基片的载具及处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种批量装载基片的载具及处理设备”，专利申请号为CN202321993537.3，授权日为2024年2月27日。

专利摘要：本实用新型公开一种批量装载基片的载具及处理设备，其中，所述载具设置有处理通道，所述处理通道内设置有至少一个处理工位，所述处理工位配置有固定部件和压紧部件，所述固定部件用于支承基片组，所述基片组包括相贴合的多个待处理基片，所述压紧部件用于对所述基片组中的各所述待处理基片进行压紧。上述处理设备包括压紧部件，能够提升基片组中多个待处理基片的贴合紧密性，进而可以减少处理用介质进入相邻两待处理基片之间的空间，有利于提升产品质量。

今年以来微导纳米新获得专利授权16个，较去年同期增加了700%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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