证券之星消息,根据企查查数据显示天通股份(600330)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法”,专利申请号为CN202311672479.9,授权日为2024年2月23日。
专利摘要:本发明公开一种晶体与坩埚同向旋转的长晶方法,属于晶体生长领域,是一种有效控制晶棒氧含量的长晶方法,该方法包括备料、引晶、放肩、等径和收尾步骤。长晶过程中,采用坩埚与晶体同向旋转的方式进行晶体生长,自引晶前稳温开启坩埚旋转,坩埚与晶体旋转方向都为籽晶安装于籽晶轴的旋紧方向,在放肩过程中根据晶体与熔汤的雷诺系数比,对晶体和坩埚转速进行分阶段设定,并在转肩阶段对PID设定提出较优解。等径步骤中,依照模拟结果保持最优坩埚与晶体旋转速度,直至收尾。通过晶体和坩埚转速的调整并配合温度PID调节,研发了一种晶体与坩埚同向旋转的方式进行长晶,有效降低晶棒氧含量,优化晶棒电阻率并避免相关氧析出缺陷。
今年以来天通股份新获得专利授权7个,较去年同期增加了250%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.42亿元,同比减6.59%。
数据来源:企查查
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