微导纳米获得实用新型专利授权：“处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“处理设备”，专利申请号为CN202321986800.6，授权日为2024年2月23日。

专利摘要：本申请涉及一种处理设备，包括处理腔体、支撑单元、承载件及密封组件。支撑单元用于在处理腔体内部支撑工件，且所述支撑单元具有支撑端，所述支撑端贯穿并伸出所述处理腔体；承载件设置于所述处理腔体的外侧，且所述承载件用于承载所述支撑端；密封组件连接于所述处理腔体与所述承载件之间，以围合形成与所述处理腔体内部连通的密封空间。采用上述的处理设备，支撑单元通过处理腔体外侧的承载件承载，支撑单元能够在处理腔体内支撑石英舟，从而避免石英舟直接压在处理腔体的内壁，避免石英舟压坏处理腔体的内壁，同时密封组件能够保证处理腔体与承载件之间的密封性，从而确保工艺的安全性。

今年以来微导纳米新获得专利授权15个，较去年同期增加了650%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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