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赛腾股份获得实用新型专利授权:“晶圆夹持旋转机构”

来源:证券之星企业动态 2024-02-20 02:41:46
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证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆夹持旋转机构”,专利申请号为CN202420079123.8,授权日为2024年2月20日。

专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆夹持旋转机构,属于半导体检测领域,其包括:旋转台,包括旋转本体和转盘;多个活动夹持件,与转盘相接,并可移至夹持状态或松开状态;顶升组件,设置在旋转本体上,且位于转盘下方;传动组件,包括传动杆和传动环,传动杆可沿着转盘的轴线方向活动地穿设于转盘中,传动杆的上端与活动夹持件传动配合,传动环承载于顶升组件上,并与传动杆的下端固定连接;复位结构,用于提供驱使活动夹持件移向夹持状态的作用力;传动杆适于在顶升组件的顶升下沿转盘的轴线方向上升,并推动活动夹持件由夹持状态切换至松开状态。本实用新型中活动夹持件可在夹持状态和松开状态可靠切换,且避免增大转盘的外径,空间适应性佳。

今年以来赛腾股份新获得专利授权21个,较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。

数据来源:企查查

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