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赛腾股份获得实用新型专利授权:“晶圆检测的承载治具”

来源:证券之星企业动态 2024-02-20 02:41:04
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证券之星消息,根据企查查数据显示赛腾股份(603283)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆检测的承载治具”,专利申请号为CN202420079805.9,授权日为2024年2月20日。

专利摘要:本实用新型公开了一种晶圆检测的承载治具,属于半导体检测领域,其设置在转盘上,所述承载治具包括:基座,设置在所述转盘上,所述基座数量有多个,且沿着所述转盘的周向均匀分布;承载件,与所述基座可拆卸连接,所述承载件数量有多个,且与所述基座一一对应,多个所述承载件配合承载晶圆;其中,所述承载件沿着所述转盘的径向延伸至所述转盘外,所述承载件包括上端面、下端面以及承接在所述上端面和所述下端面之间的迎风面,在所述上端面至所述下端面的方向上,所述迎风面向外倾斜。本实用新型采用上述结构,承载件的容置能力不会受到转盘的影响,且能够减小承载件转动过程中的阻力,提高转盘转动的顺畅性。

今年以来赛腾股份新获得专利授权21个,较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元,同比增12.17%。

数据来源:企查查

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