微导纳米获得实用新型专利授权：“一种具有杆结构的处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种具有杆结构的处理设备”，专利申请号为CN202321984740.4，授权日为2024年2月13日。

专利摘要：本实用新型公开了一种具有杆结构的处理设备，包括炉体结构、连通件、至少一个杆结构和基片，炉体结构具有处理腔；连通件的两端分别与气体源和处理腔连接，以向处理腔内注入处理气体；杆结构承载基片，基片设置在处理腔内，杆结构具有流通空腔，至少部分流通空腔与基片相对应设置，杆结构设置在处理腔外的部分上开设有连通部，连通部与流通空腔连通，连通部适于与外界惰性气体源连接以向流通空腔内注入惰性气体。上述结构的处理设备，避免了处理气体与杆结构的内表面发生反应产生的微量杂质扩散到基片上，提高基片的工艺均匀性和反应效率。

今年以来微导纳米新获得专利授权13个，较去年同期增加了550%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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