中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体处理装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体处理装置”，专利申请号为CN201910880955.3，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本发明公开了一种等离子体处理装置，包括反应腔，反应腔包括顶壁、侧壁与底壁；位于反应腔内、且设置于顶壁处的上电极；位于反应腔内、且与上电极相对设置的下电极；位于反应腔内、且环绕下电极设置的接地环；环绕下电极设置、且连接于接地环与侧壁之间的导电支架，导电支架包括接触接地环的内接环、接触侧壁的外接环及连接于外接环和内接环之间的多个阻抗可调器件。在接地环和侧壁之间连接有包括有多个阻抗可调器件的导电支架，不同阻抗可调器件能够调节接地环不同区域的阻抗，达到调节射频回路的阻抗的目的；通过对不同阻抗可调器件的阻抗优化调节，实现射频分布对称性的调节，使得等离子体处理装置达到刻蚀均匀性高的目的。

今年以来中微公司新获得专利授权8个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。