芯导科技获得发明专利授权：“肖特基二极管及其制备方法、电子设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯导科技（688230）新获得一项发明专利授权，专利名为“肖特基二极管及其制备方法、电子设备”，专利申请号为CN202111158918.5，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本发明提供了一种肖特基二极管及其制备方法、电子设备，其中，肖特基二极管的制备方法，包括：在N型衬底上形成N型外延层；在所述N型外延层刻蚀多个沟槽，以及所述沟槽内的沟槽MOS栅；淀积TEOS层；所述TEOS层连接对应的沟槽MOS栅；以所述沟槽间的部分N型外延层表面作为窗口区，在所述窗口区注入砷，以形成掺杂层；在所述掺杂层形成含钛与镍铂的势垒金属；形成正面金属，所述正面金属位于所述沟槽MOS栅、所述势垒金属、所述TEOS层的相背于所述N型衬底的一侧。

今年以来芯导科技新获得专利授权3个，较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2130.06万元，同比增27.77%。

数据来源：企查查

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