卓胜微获得发明专利授权：“一种光刻机”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示卓胜微（300782）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光刻机”，专利申请号为CN202211533404.8，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本发明公开一种光刻机，其中，所述光刻机包括主体、光刻装置以及供气装置，所述主体开设有一无尘腔；所述光刻装置包括容置于所述无尘腔内的工作舱，所述工作舱密闭设置；所述供气装置设置于所述无尘腔内，且与所述工作舱连通，以维持所述工作舱内的气体环境。本发明旨在解决现有供气装置设置于光刻机外，通过气管与工作舱连通时容易造成无尘腔污染的情况。

今年以来卓胜微新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.54亿元，同比增50.79%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。

证券之星微信

扫描二维码

关注

证券之星微信