厦门钨业获得发明专利授权：“一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示厦门钨业（600549）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置”，专利申请号为CN202111555171.7，授权日为2024年2月9日。

专利摘要：本发明涉及化学气相沉积技术领域，特别涉及一种碳掺杂化学气相沉积钨涂层的装置，包括相连通的活化回收炉和沉积炉，活化回收炉内设有活化区及活化区周侧的尾气回收区；活化区的一端连接有第一进气管，活化区的另一端通过活化管路与沉积炉的进气端相连接；尾气回收区的一端分别与回收管路和第四进气管相连接，尾气回收区的另一端与尾气处理机构相连接，回收管路与沉积炉的排气端相连接；沉积炉内设有气体混合装置及沉积平台，气体混合装置分别与活化管路、第二进气管和第三进气管相连接；活化回收炉和沉积炉内均设有加热装置，在加热装置的作用下，所述活化回收炉内进行气体活化或尾气回收，所述沉积炉内进行沉积涂层，降低了反应成本和损耗。

今年以来厦门钨业新获得专利授权6个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7.01亿元，同比减20.68%。

数据来源：企查查

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