证券之星消息,根据企查查数据显示捷佳伟创(300724)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“布气装置以及化学气相沉积设备”,专利申请号为CN202223453619.7,授权日为2024年2月9日。
专利摘要:本实用新型公开了一种布气装置以及化学气相沉积设备,布气装置,包括:布气组件,布气组件设有均气腔,且布气组件的其中一侧设有多个布气孔,布气组件的另一侧设有多个进气孔,多个布气孔以及多个进气孔均与均气腔连通,其中,多个布气孔和多个进气孔分别位于布气组件相背的两侧;及进气管组件,进气管组件与布气组件连接,进气管组件具有多个出气口,多个出气口一一对应地与多个进气孔连通。布气装置可以初步把气体较均匀地分散在均气腔内,而不至于使得气体集中在均气腔的某一位置,之后,均气腔内的气体可以通过多个布气孔更均匀地扩散进入化学气相沉积设备的工艺腔,以达到提高布气均匀性的效果。
今年以来捷佳伟创新获得专利授权7个。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.16亿元,同比增51.82%。
数据来源:企查查
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