芯源微获得发明专利授权：“基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置”，专利申请号为CN201911284982.0，授权日为2024年2月6日。

专利摘要：本发明涉及一种基于陶瓷加热板加热系统的温度保护装置，陶瓷加热板安装于固定座的上端，陶瓷加热板的上表面边缘沿周向均布有多个晶圆定位导柱，固定座的下端安装有封板，封板上安装有与陶瓷加热板的加热区对应设置的弹性接触温度保护机构；弹性接触温度保护机构包括温度开关固定座、弹性支柱及可复位温度开关，可复位温度开关安装于温度开关固定座上，可复位温度开关上的温感触点与陶瓷加热板抵接，形成检测区域，在可复位温度开关的外围均布有多个弹性支柱，每个弹性支柱的下端均安装于封板上，上端对温度开关固定座提供弹性支撑。本发明的陶瓷加热板与弹性接触温度保护结构之间为非固定性接触，同时接触面由弹性支撑，接触可靠，同时非固定的过温保结构可以保证了陶瓷加热板的工艺和节俭成本。

今年以来芯源微新获得专利授权3个，较去年同期减少了40%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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