士兰微获得发明专利授权：“双向功率器件的制造方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“双向功率器件的制造方法”，专利申请号为CN202011165966.2，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本申请公开了一种双向功率器件的制造方法，包括：在半导体层中形成第一掺杂区；在第一沟槽区形成多个沟槽，第一沟槽区的多个沟槽位于第一掺杂区中，将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区；形成覆盖第一沟槽区的多个沟槽的下部侧壁的栅介质层；形成覆盖第一沟槽区的多个沟槽的上部侧壁的屏蔽介质层；以及在第一沟槽区的多个沟槽的中形成分别与栅介质层和屏蔽介质层接触的栅极导体，其中，栅极导体包括相连的控制栅与屏蔽栅，控制栅与栅介质层接触，屏蔽栅与屏蔽介质层接触。该制造方法利用沟槽将第一掺杂区分隔为交替的第一类子掺杂区与第二类子掺杂区，构成双向功率器件的源区和漏区，降低了器件的面积。

今年以来士兰微新获得专利授权6个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3.63亿元，同比增15.47%。

数据来源：企查查

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