证券之星消息,根据企查查数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“压阻式压力传感器及其制备方法”,专利申请号为CN202311536586.9,授权日为2024年2月2日。
专利摘要:本申请提供一种压阻式压力传感器及其制备方法。压阻式压力传感器,包括:第一衬底;压敏感应组件,压敏感应组件包括压敏电阻;第一介质层,位于压敏感应组件远离第一衬底的一侧,第一介质层内设有空腔,空腔贯穿第一介质层,沿第一衬底的厚度方向,空腔的正投影覆盖压敏电阻的正投影;第二衬底,第二衬底朝向第一衬底的一侧设有用于引线键合的多个引线键合区,引线键合区与压敏电阻电连接;第一介质层与第二衬底朝向第一衬底的一侧贴合;第一衬底的正投影位于第二衬底的正投影内,引线键合区位于第一衬底的正投影之外。本申请通过在第一介质层内形成空腔,空腔的高度一致性好,限位一致性好,制作工序简单。
今年以来敏芯股份新获得专利授权9个,较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3770.04万元,同比增5.36%。
数据来源:企查查
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