京仪装备获得发明专利授权：“废气处理反应装置及半导体废气处理系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“废气处理反应装置及半导体废气处理系统”，专利申请号为CN202210907328.6，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种废气处理反应装置及半导体废气处理系统，废气处理反应装置包括壳体和冷却器，壳体的内部设有贯通的反应腔，冷却器设有多条用于冷却液流通的流道和与各流道连通的溢流口，多条流道围绕壳体的外部依次排列设置，溢流口与反应腔连通。本发明的反应装置能够利用冷却液降低反应腔温度，延缓腐蚀，有效降低反应腔温度的同时，还能够保证整个反应腔温度均匀，减缓工艺气体对反应腔的腐蚀，还可使冷却液溢流均匀，保证反应腔的内壁每一个区域均有水覆盖，利用冷却液可以起到隔绝的作用，有效隔绝制程工艺气体与反应腔内壁的接触，防止腐蚀金属，延长使用寿命。

今年以来京仪装备新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2738.29万元，同比增63.51%。

数据来源：企查查

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