士兰微获得发明专利授权：“一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法”，专利申请号为CN201811361799.1，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术，将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用，具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收，并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程，大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本，提高了器件生产产量，具有回收效率高，回收液氨、氮气和氢气纯度高，纯化深度好，回收成本低的显著特点，同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的，促进本领域发展，具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。

今年以来士兰微新获得专利授权6个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3.63亿元，同比增15.47%。

数据来源：企查查

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