微导纳米获得发明专利授权：“装载腔体及其清洗方法、及半导体设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“装载腔体及其清洗方法、及半导体设备”，专利申请号为CN202211730410.2，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本申请涉及一种装载腔体及其清洗方法、及半导体设备，包括腔本体。腔本体内部构造有至少一个装载腔，且具有连通各装载腔的进气部和出气部。其中，腔本体具有至少一个分散部，每一分散部对应一装载腔布置，各分散部包括独立设置的多个分散孔，各个分散孔均连通进气部与对应的装载腔，并用于分散进入对应装载腔内的气流。与现有技术相比，本申请能够分散气流并降低气流速度，有效避免气流集中形成涡流，装载腔内气体分布更加均匀，气流与装载腔内壁的接触几率大大增加，提高了气流清除装载腔内壁附着的微粒粉尘效果，可以延长装载腔体的维护周期，降低维护成本，也可帮助提高基片的良品率。

今年以来微导纳米新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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