证券之星消息,根据企查查数据显示东威科技(688700)新获得一项发明专利授权,专利名为“横喷结构及其应用的电解蚀刻装置”,专利申请号为CN201910829035.9,授权日为2024年2月2日。
专利摘要:本发明属于电解蚀刻领域,提供一种电解液喷洒装置,包括喷洒单元,所述喷洒单元包括数根喷管和喷嘴,所述喷管水平设置且在水平面上的投影重合,所述喷嘴设于所述喷管上;以及开关组件,包括设于所述喷管上的流量控制单元和通断控制单元。所述流量控制单元控制所述喷管的电解液喷洒流量,所述通断控制单元控制所述喷管内的电解液的通断;所述流量控制单元和所述通断控制单元串联或并联设置于所述喷管上,用于调节蚀刻过程中同一待蚀刻件上水平方向蚀刻的均匀性。
今年以来东威科技新获得专利授权3个,较去年同期减少了62.5%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3941.25万元,同比增30.86%。
数据来源:企查查
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