芯联集成获得实用新型专利授权：“测压装置及离子注入设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“测压装置及离子注入设备”，专利申请号为CN202321995710.3，授权日为2024年2月2日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种测压装置及离子注入设备，所述测压装置包括：安装件、离子真空计以及第一控制件；所述安装件内设置有通道，所述离子真空计设置于安装件并密封于所述通道的第一端，所述通道的第二端用于与工艺腔连通；所述第一控制件设置于所述安装件以控制所述通道的通断。本实用新型通过对测压装置结构的改进，保证在更换离子真空计时不影响工艺腔的内部真空环境，简化离子真空计的更换流程，降低停机以及复机准备时间。

今年以来芯联集成新获得专利授权7个，较去年同期减少了30%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6.5亿元，同比增70.44%。

数据来源：企查查

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