富创精密获得发明专利授权：“一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示富创精密（688409）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法”，专利申请号为CN202311497521.8，授权日为2024年1月30日。

专利摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种用于晶圆盒运输车的旋转限位止回装置及其工作方法。该装置包括立板，立板右端设置偏心轮，左端设置带座轴承、主轴和限位转接板二，限位转接板二内部插入连接有限位块二，带座轴承与主轴后端设置有与限位转接板二、限位转接板一与限位块一，立板左表面设置有止回块，上端连接有导向块和压杆，止回块上表面设置有弹簧支柱一，立板左表面上端设置有弹簧支柱二，弹簧支柱一与弹簧支柱二之间连接有拉伸弹簧，主轴上端设置有挡块。本发明解决了当前设备方案限位装置安装在转轴附近，调整限位极限时需将转盘拆下，同时当前设备方案无止回装置，转盘结构在取晶圆盒时有发生反转导致晶圆盒震动跌落风险的问题。

今年以来富创精密新获得专利授权8个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9180.97万元，同比增98.8%。

数据来源：企查查

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