芯源微获得发明专利授权：“高压过滤器”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“高压过滤器”，专利申请号为CN202110940509.4，授权日为2024年1月30日。

专利摘要：本发明涉及半导体生产领域中高压药液过滤装置，具体地说是一种高压过滤器，过滤器上壳体与过滤器下壳体密封连接，防水锤滤膜背板、滤膜及滤膜背板均容置于过滤器上壳体与过滤器下壳体围成的空间内，滤膜背板通过过滤器下壳体支撑，滤膜位于防水锤滤膜背板与滤膜背板之间，过滤器上壳体压紧在防水锤滤膜背板上，防水锤滤膜背板及滤膜背板上分别开设有多个过水孔；过滤器上壳体上安装有过滤器进口接头，过滤器下壳体上安装有过滤器出口接头，过滤器进口接头及过滤器出口接头分别与过滤器上壳体和过滤器下壳体围成的空间内部相连通。本发明可防止水锤现象或柱塞泵间断供液对滤膜造成的损坏，过滤精度可依照不同精度滤膜自由选择，滤膜可更换。

今年以来芯源微新获得专利授权2个，较去年同期减少了60%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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