证券之星消息,根据企查查数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“样品失效分析方法、装置及介质”,专利申请号为CN202311474713.7,授权日为2024年1月26日。
专利摘要:本公开涉及一种样品失效分析方法、装置及介质,样品失效分析方法包括:提供晶圆控片;将多颗包含目标结构的样品围成封闭图形且固定于晶圆控片的表面,使得环绕各目标结构的圆的面积小于参考面积;对样品进行失效分析预处理,以暴露出目标结构;控制晶圆控片旋转,以在固定位置获取各样品的用于失效分析的目标照片,目标照片中包括目标结构。能够减少机台占用时间,提高样品失效分析的时效性。
今年以来晶合集成新获得专利授权4个,较去年同期增加了33.33%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元,同比增27.46%。
数据来源:企查查
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