万润股份获得发明专利授权：“一种用于光刻胶顶层涂层的聚合物、制备方法及应用”

证券之星消息，根据企查查数据显示万润股份（002643）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于光刻胶顶层涂层的聚合物、制备方法及应用”，专利申请号为CN202311609279.9，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本发明涉及光刻胶技术领域，具体涉及一种用于光刻胶顶层涂层的聚合物、制备方法及应用，所述光刻胶为193nm浸没式光刻胶，所述聚合物为如下结构：；x、y、z、w分别为聚合物中重复单元的质量分数，x选自30?80%，y选自10?50%，z选自1?20%，w选自1?20%，所述聚合物的分子量选自2000?50000Da，PDI选自1.0?4.0。所述聚合物应用于193nm浸没式光刻胶顶层涂层。所述聚合物能够有效地降低浸没式曝光时光致产酸剂对光学镜头的污染程度，并且能够增加光刻胶顶层涂层的接触角，且光致产酸剂沥出量极少。

今年以来万润股份新获得专利授权3个，较去年同期减少了25%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.59亿元，同比减15.59%。

数据来源：企查查

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