中微公司获得发明专利授权：“零部件、其形成涂层的方法及装置和等离子体反应装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“零部件、其形成涂层的方法及装置和等离子体反应装置”，专利申请号为CN202010361061.6，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本发明属于等离子体刻蚀技术领域，公开了一种形成耐等离子体涂层的方法、形成耐等离子体涂层的装置、用于等离子体反应装置的零部件和等离子体反应装置。其中，等离子体反应装置包括反应腔，反应腔内为等离子体环境，零部件暴露于等离子体环境中，零部件包括零部件本体和耐等离子体涂层，零部件本体具有孔结构，耐等离子体涂层位于零部件本体表面和孔结构的内表面。本发明实施例提供的零部件，在零部件的实际使用过程中，其孔结构的内表面的耐腐蚀涂层不容易被等离子体轰击而产生脱落现象，进一步降低因耐等离子体涂层脱落而引发的金属污染的风险，能够提高零部件的服役寿命，并提升等离子体刻蚀制程的良率。

今年以来中微公司新获得专利授权4个，较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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