迈为股份获得实用新型专利授权：“真空过滤机构及PECVD装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“真空过滤机构及PECVD装置”，专利申请号为CN202322048593.6，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本实用新型涉及PECVD尾气处理领域，尤其涉及一种真空过滤机构及PECVD装置。该真空过滤机构包括第一管道连接部，其与镀膜腔室方向连接的第一管道进行连接；第二管道连接部，其与真空泵方向连接的第二管道进行连接；真空过滤机构还包括位于第一管道连接部和第二管道连接部之间的收集部；过滤网，过滤网位于第二管道连接部和收集部之间；且第一管道连接部和第二管道连接部交叉设置。该PECVD装置包括真空过滤机构。通过该真空过滤机构，缓解了现有过滤方式依然存在卡死或损坏真空泵的技术问题，在实现对粉尘和颗粒物过滤的同时，还可以储存过滤后的粉尘、颗粒物，保证了管道的畅通。

今年以来迈为股份新获得专利授权8个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

数据来源：企查查

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