赛腾股份获得实用新型专利授权：“晶圆移载组件”

证券之星消息，根据企查查数据显示赛腾股份（603283）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“晶圆移载组件”，专利申请号为CN202323538083.3，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种晶圆移载组件，用于移载晶圆，包括：基板，设有第一通孔；多个夹持臂组件，设于所述基板上，且分布于所述第一通孔的外周；所述夹持臂组件至少包括用于支撑所述晶圆的承托块，多个所述夹持臂组件的承托块沿所述晶圆的圆周方向间隔分布，且能够在所述晶圆的径向上伸缩运动；其中，所述承托块的伸缩运动使得所述承托块具有夹持状态和回缩状态，在所述夹持状态下，所述晶圆在沿其至所述基板方向的投影位于所述第一通孔内，所述承托块在沿所述晶圆至所述基板方向的投影至少部分位于所述第一通孔内。

今年以来赛腾股份新获得专利授权8个，较去年同期增加了300%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.48亿元，同比增12.17%。

数据来源：企查查

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