证券之星消息,根据企查查数据显示士兰微(600460)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS传感器及其制备方法”,专利申请号为CN202110842675.0,授权日为2024年1月26日。
专利摘要:本发明提供了一种MEMS传感器及其制备方法,当第二衬底的背面受到压力时,第二电极层形变,两个第一电极层与对应的第二电极层之间的距离沿相反方向变化,通过检测第二电极层分别与两个第一电极层构成的检测电容的容值之差即可确定外部施加的压力大小,实现压力检测。
今年以来士兰微新获得专利授权1个,较去年同期减少了50%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3.63亿元,同比增15.47%。
数据来源:企查查
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