中科飞测获得实用新型专利授权：“一种照明光路结构和检测系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种照明光路结构和检测系统”，专利申请号为CN202321776054.8，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本申请涉及检测技术领域，具体涉及一种照明光路结构和检测系统，照明光路结构包括光源、第一光学组件、滤光组件和减光组件，光源提供初始光束，第一光学组件接收初始光束并产生非预设特性的第一光束；滤光组件用于对第一光束的波段进行选择性调节以出射预设波段的第二光束，减光组件用于对第二光束的光强进行调整以出射预设光强的照明光束；这样初始光束依次通过梳理、波段调节和光强调节，实现对初始光束的调制整合，满足多种不同需求的照明条件，使晶圆表面的缺陷清晰易见，方便后续对晶圆表面缺陷的判定，有助于提高检测系统的检测准确度和检测效率。

今年以来中科飞测新获得专利授权12个，较去年同期减少了33.33%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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