华海清科获得发明专利授权：“一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆夹持机构和晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202310209042.5，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆夹持机构，其包括：转盘；卡爪组件，其沿所述转盘的周向设置，所述卡爪组件包括：固定座，其连接于转盘且配置有贯通孔，所述贯通孔的内侧壁设置有螺旋的导向槽；滑动件，其同轴设置于所述贯通孔且周向配置有限位部，所述限位部卡接于所述导向槽；顶升组件，其设置于卡爪组件下方，以带动所述滑动件沿竖向移动；移动的滑动件能够沿轴线旋转，使得其上的凸起部与晶圆边缘抵接或分离，以实现晶圆的夹紧或释放。

今年以来华海清科新获得专利授权4个，较去年同期减少了55.56%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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