芯联集成获得发明专利授权：“具有氮化铝膜层的基材的加工方法及滤波器的制备方法”_股票频道

证券之星消息，根据企查查数据显示芯联集成（688469）新获得一项发明专利授权，专利名为“具有氮化铝膜层的基材的加工方法及滤波器的制备方法”，专利申请号为CN202111045918.4，授权日为2024年1月23日。

专利摘要：本发明提供了一种具有氮化铝膜层的基材的加工方法及滤波器的制备方法。在执行湿法制程之后进行酸洗，并在酸洗后利用亲水性有机溶剂执行脱水处理，以去除氮化铝膜层上的水分，避免氮化铝和水发生化学反应而产生固体杂质，提高了氮化铝膜层的表面清洁度和平坦度，改善后续形成在氮化铝膜层上的薄膜品质。

今年以来芯联集成新获得专利授权5个，较去年同期减少了28.57%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6.5亿元，同比增70.44%。

数据来源：企查查

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