中科飞测获得实用新型专利授权：“微分干涉显微检测设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“微分干涉显微检测设备”，专利申请号为CN202320778996.3，授权日为2024年1月9日。

专利摘要：本实用新型实施例公开了一种微分干涉显微检测设备，包括反射式微分干涉成像系统和照明系统，所述反射式微分干涉成像系统包括相机、物镜模块、管镜模块、分束棱镜、半透半反镜和偏振片，所述偏振片位于所述照明系统的出光侧与所述半透半反镜之间，所述物镜模块和所述分束棱镜设置在所述半透半反镜的透射光路上、且所述分束棱镜位于所述半透半反镜与所述物镜模块之间，所述相机和所述管镜模块设置在所述半透半反镜的反射光路上、且所述管镜模块位于所述半透半反镜与所述相机之间。本实用新型实施例通过设置半透半反镜使反射式微分干涉成像系统可以沿透射光路重复利用同一组物镜模块和分束棱镜完成检测，使得系统整体的结构更为紧凑。

今年以来中科飞测新获得专利授权5个，较去年同期减少了72.22%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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