中微公司获得发明专利授权：“一种光谱检测设备、终点检测系统和方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光谱检测设备、终点检测系统和方法”，专利申请号为CN201910621056.1，授权日为2024年1月12日。

专利摘要：本发明提供了一种光谱检测设备、终点检测系统和方法，包括衍射光栅、图像传感器以及位于衍射光栅和图像传感器之间的挡板，挡板具有至少一个狭缝；衍射光栅用于将入射光分成多个光分量；狭缝的位置与一个光分量的位置对应，狭缝朝向图像传感器的一侧具有光学透镜，光学透镜用于对光分量进行扩束；图像传感器用于采集扩束后的光分量，以获得光分量对应的特征光谱的光强。由于狭缝的位置与光分量的位置对应，且狭缝朝向图像传感器的一侧具有光学透镜，因此，可以通过光学透镜扩束，扩大光分量在图像传感器上的投影面积，使得图像传感器利用更多的像素来采集光分量，从而可以采用较低的成本提高图像传感器的信噪比，提高终点检测系统的检测灵敏度。

今年以来中微公司新获得专利授权2个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。

数据来源：企查查

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