证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种磁控溅射传动装置及磁控溅射设备”,专利申请号为CN202321794626.5,授权日为2024年1月5日。
专利摘要:本实用新型涉及异质结太阳能电池制备技术领域,尤其涉及一种磁控溅射传动装置及磁控溅射设备。磁控溅射传动装置包括载板及传输轨道,载板用于承载待镀膜的硅片,传输轨道上设置有第一悬浮永磁条,载板上设置有第二悬浮永磁条和导向永磁铁,第一悬浮永磁条和第二悬浮永磁条均沿传输轨道的长度方向延伸,并且极性相斥且相对设置,以使载板和传输轨道之间呈悬浮状态,传输轨道与导向永磁铁相对的一侧上沿传输轨道的长度方向间隔设置有多个电磁铁,通过调节各个电磁铁的极性驱动载板沿传输轨道磁悬浮移动。磁控溅射设备通过应用上述磁控溅射传动装置,避免载板与滚轮间摩擦掉粉,提高载板的使用寿命,提高了设备的稼动率,保证了真空腔室的密封性。
今年以来迈为股份新获得专利授权1个,与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增39.56%。
数据来源:企查查
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