清越科技获得实用新型专利授权：“一种掩膜版”

证券之星消息，根据企查查数据显示清越科技（688496）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种掩膜版”，专利申请号为CN202321636747.7，授权日为2024年1月2日。

专利摘要：本申请涉及一种掩膜版，其涉及光刻工艺的领域，其包括菲林片与铬玻璃板，所述菲林片贴附在所述铬玻璃板上，所述菲林片与所述铬玻璃板可拆卸连接，所述菲林片包括图形区与非图形区，所述图形区用于供所述菲林片制作成不同产品所使用的图形，所述铬玻璃板用于装载在掩膜架上。本申请利用将菲林片贴附在铬玻璃板作为掩膜版能够实现将菲林片装载在接近式曝光机掩膜架上的效果，在对应不同客户产品需要更换不同图形的掩膜版时，由于菲林片上的图形区能够制作成不同产品所使用的图形，在此过程中，菲林片与铬玻璃板的可拆卸连接使得铬玻璃板能够重复使用无需更换，仅需拆卸更换制作成本低的菲林片即可，从而能够达到节约成本的效果。

今年以来清越科技新获得专利授权1个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了4339.84万元，同比增12.1%。

数据来源：企查查

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