微导纳米获得发明专利授权：“一种电场馈入结构及沉积设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种电场馈入结构及沉积设备”，专利申请号为CN202311266199.8，授权日为2024年1月2日。

专利摘要：本发明提供了一种电场馈入结构及沉积设备，包括承舟块和金属片，承舟块用于支撑载片舟的舟脚；金属片可拆卸的连接于承舟块，金属片具有第一电连接部和第二电连接部，第一电连接部用于与馈入电极电连接，第二电连接部用于与舟脚电连接；本申请中，馈入电极通过金属片和舟脚电连接，承舟块可以仅起到支撑载片舟的功能，无需起到导电作用，这样无需维护承舟块或者缩短承舟块的维护周期，节省成本；并且在一定情况下，承舟块可以使用绝缘材料，例如包括但不限于陶瓷材质的绝缘材料，从而避免碎片堆积在承舟块附近而引起的电场高频问题，提高电场的稳定性。

今年以来微导纳米新获得专利授权1个，与去年同期持平。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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