证券之星消息,根据企查查数据显示芯联集成(688469)新获得一项发明专利授权,专利名为“机械手及吸盘”,专利申请号为CN202210147404.8,授权日为2023年12月29日。
专利摘要:本发明涉及一种机械手及吸盘,机械手包括吸盘,吸盘用于基于伯努利原理吸附晶圆,吸盘具有相对的第一表面和第二表面并包括金属吸盘本体,金属吸盘本体的第一表面覆盖有绝缘层并设置有多个气孔,吸盘还包括多个沿金属吸盘本体周向分布的绝缘挡块,绝缘挡块用于在晶圆的外围进行限位,且所有绝缘挡块通过导电层与金属吸盘本体连接,导电层用于与晶圆的边缘接触;如此配置,可以确保吸盘在真空释放后成功释放晶圆,降低晶圆破片的风险。
今年以来芯联集成新获得专利授权68个,较去年同期减少了12.82%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了6.5亿元,同比增70.44%。
数据来源:企查查
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