证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“零部件、耐等离子体涂层的形成方法和等离子体反应装置”，专利申请号为CN202011037205.9，授权日为2023年12月29日。
专利摘要：本发明涉及等离子体刻蚀的技术领域，公开了一种耐等离子体涂层的形成方法、零部件和等离子体反应装置，所述零部件包括零部件本体和耐等离子体涂层；所述耐等离子体涂层为结晶相的钇铝化合物结晶，位于所述零部件本体的表面，所述钇铝化合物结晶还包括稀土元素。钇铝化合物结晶涂层具有更好的耐腐蚀特性，更好地保护零部件本体在等离子体刻蚀工艺过程中不被腐蚀。
今年以来中微公司新获得专利授权152个，较去年同期增加了237.78%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.92亿元，同比减3.77%。
数据来源：企查查
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