中科飞测获得实用新型专利授权：“一种承载盘及检测设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示中科飞测（688361）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种承载盘及检测设备”，专利申请号为CN202321542264.0，授权日为2023年12月26日。

专利摘要：本实用新型公开了一种承载盘及检测设备，包括盘体、主密封环和辅助密封环。其中：盘体具有中部区域和包围中部区域的边缘区域；主密封环设置在边缘区域；辅助密封环设置在中部区域，并将中部区域分隔为多个密封区域，多个密封区域均设置有凸点结构和真空吸附孔。使用时，由于晶圆存在翘曲，晶圆靠近中心的位置首先接触到凸点结构，自中心至边缘区域，晶圆与辅助密封环的缝隙逐渐变大，当各个密封区域的真空吸附孔连通负压时，晶圆自中心至边缘逐步吸附平整变形，并形成完整的密封，从而提高了晶圆的平面度。

今年以来中科飞测新获得专利授权132个，较去年同期增加了2.33%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了9669.55万元，同比增10.64%。

数据来源：企查查

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