江化微获得发明专利授权：“一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺”

证券之星消息，根据企查查数据显示江化微（603078）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种高寿命银膜蚀刻液组合物及蚀刻工艺”，专利申请号为CN202111622391.7，授权日为2023年12月26日。

专利摘要：本发明公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物，主要组成为硝酸、乙酸、A酸、银离子络合剂和水，A酸为选自有机磺酸和磷酸中的至少一种，银离子络合剂为氨基羧酸或者羟基羧酸；还包括除银离子络合剂外的C4～C10多羟基化合物。本发明高寿命银膜蚀刻液组合物基于现有的硝酸乙酸混酸体系，多羟基化合物在基板中裸露的铝表面自组装成膜，银离子络合物充分络合游离的银离子，降低蚀刻体系中的银离子与铝表面接触的几率，延长蚀刻液的使用寿命，提高产线生产效率。本发明还公开了一种高寿命银膜蚀刻液组合物的蚀刻工艺。

今年以来江化微新获得专利授权10个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3159.88万元，同比增87.01%。

数据来源：企查查

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