士兰微获得发明专利授权：“MEMS组件及其制造方法”

证券之星消息，根据企查查数据显示士兰微（600460）新获得一项发明专利授权，专利名为“MEMS组件及其制造方法”，专利申请号为CN201711469518.X，授权日为2023年12月26日。

专利摘要：本申请公开了MEMS组件及其制造方法。所述方法包括：在传感器芯片上形成凹槽；在器件芯片上形成焊盘；将所述传感器芯片与所述器件芯片键合，以形成键合组件；在所述传感器芯片的第一位置执行第一划片，以穿透所述传感器芯片到达所述凹槽；以及在所述传感器芯片的第二位置执行第二划片，以穿透所述传感器芯片和所述器件芯片，将所述键合组件分离成单个MEMS组件，其中，所述凹槽与所述焊盘的位置相对应，并且在所述第二划片的同时，在所述传感器芯片中形成开口，以暴露所述焊盘。该方法采用两次不同深度的划片暴露传感器芯片的焊盘和切割MEMS组件，从而提高良率和可靠性。

今年以来士兰微新获得专利授权112个，较去年同期增加了34.94%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.63亿元，同比增15.47%。

数据来源：企查查

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