微导纳米获得实用新型专利授权：“防倒灌组件、真空系统及处理设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“防倒灌组件、真空系统及处理设备”，专利申请号为CN202321608032.0，授权日为2023年12月22日。

专利摘要：本实用新型涉及一种防倒灌组件、真空系统及处理设备，包括：本体，其上开设有流体通道；导向件，安装于本体，并沿第一方向延伸；封堵板，滑动安装于导向件，封堵板可沿第一方向滑动，以能够使流体通道在常开状态与暂闭状态之间切换；当流体通道处于常开状态时，流体通道允许流体正向流过，封堵板远离流体通道的第一通行口；当流体逆向流动时，封堵板封堵第一通行口，使流体通道从常开状态切换至暂闭状态以阻止流体逆向流过流体通道。在真空泵作用下，反应腔中的气体能够经流体通道正向流出，而当真空泵卡粉或者出现故障时，封堵板能够使得流体通道从常开状态切换至暂闭状态，以阻挡外界气体逆向流动至反应腔中，防止工件损坏并保证生产安全。

今年以来微导纳米新获得专利授权39个，较去年同期增加了143.75%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。

数据来源：企查查

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