芯源微获得实用新型专利授权：“一种晶圆检测装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆检测装置”，专利申请号为CN202321584618.8，授权日为2023年12月22日。

专利摘要：本实用新型提供了一种晶圆检测装置，包括支撑框架、照明系统、棱镜组件、均光板组件和成像相机；照明系统设于所述支撑框架，且位于支撑框架的一侧，照明系统用于朝支撑框架的另一侧发射光线；支撑框架的另一侧设有开口，成像相机位于支撑框架的另一侧对应所述开口设置，用于接收从所述开口处发射出的光线并成像；所述棱镜组件和所述均光板组件均设于所述支撑框架，所述棱镜组件位于所述均光板组件的上方，所述照明系统发射的光线可依次通过所述棱镜组件和所述均光板组件照射在晶圆上，且所述棱镜组件还用于将晶圆上反射的光线从所述开口导出。本实用新型提供的晶圆检测装置，空间尺寸较小，实现了明场照明，降低了光源功率，提升了系统性能。

今年以来芯源微新获得专利授权42个，较去年同期增加了121.05%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。