芯源微获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆对准的导正装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆对准的导正装置”，专利申请号为CN202321817603.1，授权日为2023年12月19日。

专利摘要：本实用新型提供了一种用于晶圆对准的导正装置，设置至少三个具有导正斜面和放置面的导正组件，当安装在安装座上后，各个导正组件的放置面均位于同一水平面，形成限制晶圆位置的限位区域，示教时，只需控制机械手根据粗略位置将晶圆放置在导正装置上方，晶圆在重力作用下落至导正斜面上，并沿着导正斜面滑动至放置面上，最后晶圆将处于和其自身大小非常接近的限位区域中，实现了初步校准，提高了示教效率，相较于示教仪，成本低，由于导向柱的第一端居中设置于支撑柱的第一端上，且支撑柱的第一端的端面面积大于导向柱的第一端的端面面积，因此，若当前与晶圆接触的导向斜面和放置面出现磨损时，只需调整导正组件的朝向晶圆的方向，维护成本低。

今年以来芯源微新获得专利授权41个，较去年同期增加了115.79%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了7697.75万元，同比增80.33%。

数据来源：企查查

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