华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆载置的真空吸盘系统”

证券之星消息，根据企查查数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆载置的真空吸盘系统”，专利申请号为CN202010919971.1，授权日为2023年12月19日。

专利摘要：本发明公开了一种用于晶圆载置的真空吸盘系统，包括用于吸附并保持晶圆的吸盘、第一密封腔室、第二密封腔室、第一电磁阀、第二电磁阀和第三电磁阀；吸盘通过管路依次连接第一密封腔室、第一电磁阀、第二密封腔室和第二电磁阀，第一密封腔室连接负压源从而为吸盘提供持续的吸附力并将从吸盘吸引的气体与液体、固体颗粒分离，第二密封腔室分别连接负压源和正压源以在第二密封腔室连通负压源并且第一电磁阀导通时从第一密封腔室吸引液体和/或固体颗粒以及在第二密封腔室连通正压源并且第二电磁阀导通时将其中的液体和/或固体颗粒排出；第二密封腔室的气路端口和负压源之间连接第三电磁阀。

今年以来华海清科新获得专利授权95个，较去年同期增加了86.27%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.39亿元，同比增63.98%。

数据来源：企查查

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