证券之星消息,根据企查查数据显示迈为股份(300751)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种真空镀膜设备及系统”,专利申请号为CN202322186185.7,授权日为2023年12月19日。
专利摘要:本申请公开了一种真空镀膜设备及系统,属于太阳能电池领域。一种真空镀膜设备包括第一面镀膜组、自动翻片装置、第二面镀膜组和主控单元;第一面镀膜组包括用于环境过渡的第一进端室组、用于薄膜制备的第一PVD磁控溅射室以及用于环境过渡的第一出端室组;第二面镀膜组包括用于环境过渡的第二进端室组、用于薄膜制备的RPD镀膜腔室和第二PVD磁控溅射室、用于环境过渡的第二出端室组;RPD镀膜腔室和第二PVD磁控溅射室RPD+PVD复合TCO膜;所述复合TCO膜为PVD膜沉积在RPD膜的远离电池片硅片的一面的层叠式复合膜。本申请可以在保证制备效率、SHJ电池能量转化率的情况下降低制备成本,突破RPD设备产能受限问题。
今年以来迈为股份新获得专利授权80个,较去年同期增加了23.08%。结合公司2023年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增39.56%。
数据来源:企查查
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