迈为股份获得实用新型专利授权：“真空镀膜装置”

证券之星消息，根据企查查数据显示迈为股份（300751）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“真空镀膜装置”，专利申请号为CN202321447959.0，授权日为2023年12月19日。

专利摘要：本申请公开了一种真空镀膜装置，属于光伏产品制造领域。一种真空镀膜装置，其包括：等离子体枪、片状等离子体调整室、工艺腔室和阳极室；所述等离子体枪、片状等离子体调整室、工艺腔室和阳极室在第一方向上依次连通设置，所述等离子体枪放出的等离子体在第一方向上输送；所述工艺腔室内设有基片和至少一个靶材，所述靶材和基片在第二方向上间隔布置，且等离子体在靶材和基片之间输送，第一方向与第二方向相互垂直；所述等离子体枪的数量为至少两个。本申请可以缓解当前镀膜装置应用范围受限、灵活性较差的问题，实现大尺寸圆柱靶溅射过程中的溅射粒子的有效离化，满足工业应用需求。

今年以来迈为股份新获得专利授权79个，较去年同期增加了31.67%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.85亿元，同比增39.56%。

数据来源：企查查

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