扬杰科技获得发明专利授权：“一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺”

证券之星消息，根据企查查数据显示扬杰科技（300373）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺”，专利申请号为CN202011117109.5，授权日为2023年12月15日。

专利摘要：一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。涉及一种半导体制造—湿法腐蚀工艺技术领域，尤其涉及一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。提供了一种提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险的一种改善钝化层表面金属腐蚀残留的腐蚀工艺。本发明中用NIAG腐蚀液取代AL腐蚀液：NIAG腐蚀液的腐蚀速率比AL腐蚀液慢，在保证了产品线条美观的同时也降低了产品过腐蚀导致报废的高风险。用NIAG腐蚀液取代AL腐蚀液的前提为保证NIAG腐蚀的过程中，金属层表面不存在NIO和NI是极易被氧化的金属，本案在第一次经过PBE腐蚀液后不过水槽，直接进行NIAG腐蚀就避免了NI被氧化的问题。本发明具有提高产品线条美观、降低产品过腐蚀导致报废的高风险等特点。

今年以来扬杰科技新获得专利授权68个，较去年同期增加了36%。结合公司2023年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.65亿元，同比增3.17%。

数据来源：企查查

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